联合攻关第二十七天。
上午九点，整机测试中心。
老梁把最新一份检测报告拍在桌上，盯着那几处标红的数据，眉头拧得能夹死蚊子。
“又是这里。”
第一轮完整曝光链路跑通以后，他们没有停下来庆祝。
二十天里，设备窗口几乎排得满满当当。
光源、反射光学、工件台、计量控制，每个组都拿出了实打实的改进。
如今，连续完成多轮对准曝光已经不是难题。
真正麻烦的是，印出来的图形，有些区域对得很准，有些区域却总要偏上一点。
同一片晶圆，中心位置漂亮，边缘几处却总过不了预定的阶段标准。
“只剩三天了。”老梁揉了揉眉心，“再这么试下去，怕是真得延期。”
坐在旁边的计量组负责人没反驳。
谁也不愿意延期。
可技术这东西，不是喊两句口号就能变好的。
更何况，三十天的期限是他们自己定的。
做不到照实汇报就是了，没人会拿设备安全和检测数据开玩笑。
陈知远却没接话。
他正翻着过去几轮的晶圆检测结果。
一张，两张，三张。
几组分布图在屏幕上来回切换。
忽然，他停住了。
“梁老师，把这三张叠到一起。”
“嗯？”
“再加上各自曝光之前的晶圆形貌测量。”
老梁没多问，直接招呼人调数据。
几分钟后，一张新的对照图出现在屏幕上。
陈知远伸手点了点右上角。
“看这里。”
老梁凑过去：“这不是之前那几处对不准的地方吗？”
“对，但你看它们偏的方向。”
陈知远把其中一张图放大，又将另一组测量数据移到旁边。
“我们一直按整片晶圆的统一基准去修正位置，可这些偏差不是整片一起往一个方向跑。”
“部分区域的形貌变化不同，原来的统一校正把一些地方修好了，也把另一些地方带偏了。”
计量组负责人听到这里，表情慢慢变了。
他盯着屏幕，过了好几秒才道：“你是说，我们缺的不是再提高一次全局定位精度，而是把分区域的误差单独考虑进去？”
“至少这几组记录支持这个方向。”
陈知远点头。
在【真理之眼】的帮助下，那些分散在不同测试批次中的细微差异，像被一根看不见的线串了起来。
这不是凭空冒出来的答案。
过去二十多天，几家研究所的技术资料、设备记录和检测报告，他几乎全部看过。
该懂的原理、该了解的限制，早已在脑海里形成了一套完整的框架。
此刻，他只是比别人更快地看到了那块一直没拼上的地方。
“先别动设备。”陈知远说，“拿前几轮的数据做离线验证，用一部分建立区域误差映射，剩下的别参与调整，直接拿来检验。”
老梁一下来了精神。
“行！”
他转身就招呼人。
原本还有些沉闷的工作室，突然又忙了起来。
中午十二点。
第一版离线结果出来。
下午两点，第二批没有参与建模的历史数据也得到改善。
到了傍晚，计量组负责人盯着最后一份报告，终于忍不住笑了。
“真让你找着了！”
老梁一把拿过报告，翻了两页，又抬头看向陈知远。
“你这脑子到底怎么长的？”
“正常长的。”陈知远笑道，“就是比你们少走了点弯路。”
“你管这叫一点？”
老梁被气笑了。
可笑过之后，他又低头看了眼那份报告。
二十多天。
那么多人把每个系统都翻来覆去地查，偏偏没想到把晶圆不同区域的形貌变化和对准误差这样放在一起看。
最让他服气的，还不是陈知远想到了这个方向。
而是这小子一旦判断出问题，几乎立刻就知道该用什么现成的数据来证明，甚至连验证可能踩到的坑都提前避开了。
这才是真正吓人的地方。
当天晚上，周启山看完报告，直接批准了下一轮受控测试的准备工作。
设备检查、风险复核、原控制方案保留、独立计量安排，一项没省。
陈知远也没打算通宵守在控制室里。
把关键安排确认好，他照常回去休息。
这些天，他每天该睡就睡，第二天却总是第一个能把问题想清楚的人。
老梁本来还想劝他年轻也别硬撑，后来想想，最需要劝的好像是自己。
奇怪的是，和陈知远连续共事这阵子，他晚上反倒比之前睡得踏实了。
“项目有盼头了，觉都好睡。”老梁自己给自己找了个解释。
第二十九天。
上午十点。
三位牵头院士都来到了整机测试中心。
周启山端着保温杯，站在监控屏幕前。
“最后确认一次。”
“测试流程和退出条件全部复核完毕。”
“独立计量组已就位。”
“样片编号完成，检测标准不作临时调整。”
一项项回答落下。
周启山看向陈知远。
“开始？”
“开始吧。”
陈知远点头。
设备按程序运转。
没有惊天动地的声响，也没有什么炫目的光芒。
控制室里，只有一行行平静变化的状态数据。
可在场的每个人，都知道今天这场测试意味着什么。
他们不再只是证明设备能把图形印出来。
他们要证明，在预定的受控条件下，原型平台能够把不同曝光层一次又一次准确地对到一起。
第一片测试晶圆完成曝光，送去检测。
等待的时候，老梁想喝口水，拧开杯子才发现里面早空了。
“你紧张什么？”陈知远瞥了他一眼。
“废话。”老梁把杯子放下，“你小子倒是坐得住。”
陈知远笑了笑。
他当然也期待结果。
只不过，能做的工作都已经做到位了，剩下的就交给数据。
约莫半小时后，计量组的电话来了。
负责人拿着报告快步走进控制室。
“第一片，符合预定指标！”
老梁腾地站了起来。
有人已经忍不住笑出声。
周启山却抬了抬手。
“别急，还有后面两片。”
第一片成功，值得高兴。
但他们今天要的，从来不是一次运气好的结果。
第二片送检。
等待。
“第二片也通过了！”
这次，就连周启山握着保温杯的手，都不自觉收紧了几分。
控制室里几个人互相看了看，谁也没再说笑。
第三片。
时间似乎变得格外慢。
负责计量的老工程师姓罗，大家平时都叫他罗工。
他在相关精密装备项目里干了十几年，最清楚一份漂亮的图，和一份经得起复核的结果之间差着多少事。
检测台前，年轻同事已经盯得眼睛发酸。
“罗工，数据出来了。”
老罗接过结果，先核对样片编号，又检查检测条件。
接着，他把几个关键位置的记录重新看了一遍。
没有临时改口径。
没有排除不合格区域。
第三片样片，同样满足这轮预先确定的阶段验证要求。
老罗把报告放在桌上，手掌压着纸面，半天没动。
“师傅？”年轻同事喊了他一声。
老罗吸了口气。
“发过去吧。”
“结论怎么写？”
“按事实写。”
他抬起头，声音有些哑，却说得格外清楚。
“重复性验证通过，独立计量结果，符合本阶段要求。”
控制室里。
报告传到大屏幕上的那一刻，先是安静。
紧接着，老梁猛地一拍桌子。
“过了！”
“真过了！”
有人一下从椅子上跳起来，有人笑着跟旁边的人握手，还有位工程师第一反应是掏出手机，想给同事报喜，刚点亮屏幕，又想起保密规定，赶紧收了回去。
“差点忘了。”他自己都笑了。
周启山没有制止大家。
老人只是站在原地，看着那几份检测结果。
第一片。
第二片。
第三片。
三份独立记录，三次合格结论。
他带队做了这么多年工程，当然知道这不是终点。
样片通过阶段验证，不代表设备已经具备稳定量产能力。
下一步还要面对更多工况、更长时间运行、效率和良率等一连串难关。
可是，那又怎么样呢？
今天这一步，是真的跨过去了。
“周院士？”顾明远在一旁提醒。
周启山这才回过神，低头笑了笑。
“把所有原始记录归档，按程序准备阶段评审。”
说完，他终于抬起头，重重吐出一口气。
“这回，可以高兴一会儿了。”
控制室里顿时响起一阵笑声。
不多时，老罗也走了过来。
看着屏幕上的结果，他却没跟着笑得多大声。
身边年轻的研究员兴奋得脸都红了。
“罗工，真成了！”
“我看见了。”
老罗扶了扶眼镜。
“就是……”
他顿了顿。
十几年前刚进项目组时，跟他一起熬夜调设备的几个老伙计，如今有的退休了，有的去了别的单位。
那时候大家最常说的一句话就是，慢慢来，总有一天能做出来。
可一年又一年过去，慢慢来三个字，说起来也越来越重。
老罗用手背碰了碰眼角，忽然笑了。
“就是没想到，真能在我还没退休的时候，看见这么一天。”
旁边的年轻人一时不知道该说什么。
倒是老梁走过来，轻轻拍了拍他的肩膀。
“这才到哪儿啊？后面还有得忙呢。”
“知道。”老罗笑着点头，“我还能干。”
陈知远站在不远处，看着这一幕，也跟着笑了。
这段时间他已经很清楚，这个项目从来不是因为自己突然出现，才凭空长出了一台设备。
是无数人把十几年、几十年的积累，一点点垒到了今天。
而他所做的，就是让那些原本已经摆在那里的东西，更快地走到了一起。
周启山走到他面前。
“知远。”
“周院士。”
“这次你干得漂亮。”
老人看着他，认真道：“三十天前让你牵头，是看你有这个本事，现在这份结果摆在这儿，我也算能放心跟其他人交代了。”
陈知远笑道：“本来就是大家一起完成的。”
“当然是大家的功劳。”
周启山点头，随后又补了一句。
“但你的贡献，谁也不会少记一分。”
他转头看向另外两位院士。
“我建议尽快启动正式阶段评审，下一阶段整机技术路线的核心讨论，也让知远继续参加。”
两人没有犹豫。
“同意。”
“我也同意，今天的报告，我来签字确认送审。”
项目办公室很快忙了起来。
这一轮验证的全部材料，将按程序送交专项评审组；阶段成果报告，也将同步上报相关主管部门。
老梁听完这个安排，忍不住凑到陈知远身边。
“十九岁啊。”
“怎么？”
“没什么。”老梁笑得直摇头，“就是忽然觉得，你以后要干的事，恐怕还真不止这一台光刻机。”
陈知远望向玻璃窗另一侧的原型平台。
“这台机器还远没到能让人满意的时候呢。”
“你还不满意？”
“满意今天的结果。”陈知远笑道，“但总不能到这儿就停下吧？”
老梁看了他几秒，也笑了。
“行，听你的。”
当天下午，一份标注着“阶段验证达到预定目标”的内部报告正式完成。
核心技术贡献人员名单中，陈知远的名字，赫然列在前面。
而这份报告的下一站，是京城。